第一三八五章 光刻机的现状(中)

依托国智半导体集团和曙光通讯集团强劲的产能和销售量,孙健不担心新定购的180nm制程工艺的半导体生产线将陷入亏损。

EUV LLC联盟中的Intel、Motorola和IT也是另一家美国光刻机公司SVG(硅谷集团)的股东,如今同GCA不是一个层次的竞争对手,被排斥在EUV LLC联盟之外,SVG同Nikon、ASML、Canon一样下注157nm F2激光路线。

80年代初,GCA、Ultratech、Cobilt、Perkin-Elmer(P&E)等美国光刻机公司占据全球90%的光刻机市场份额,GCA一家就独占全球60%的市场份额;到了80年代中期,开始给GCA提供镜头,后来被GCA抛弃,通过仿造GCA光刻机和自研成长起来的Nikon,已经同GCA平起平坐,各占三成市场份额;Ultratech占约一成,Canon、Eaton、P&E、日立等剩下几家,每家都不到5%,彼时ASML还未成立。

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1981年,Cobilt被应用材料公司收购,一年后解散了Cobilt部门。

90年代,GCA、Ultratech和SVG等美国光刻机公司只剩下10%的市场份额,其中GCA和Ultratech占4-5%,SVG占1%。

GCA在1985、1986期间损失1亿美元,被迫裁员70%,只有1000人;1988年,General Signal以7600万美元收购了陷入财务困境的GCA。随后,Sematech资助GCA开发KrF步进器。1993年1月,General Signal宣布其打算剥离其半导体设备公司。1993年5月,因为没有找到合适的买家,General Signal打算关闭GCA,余建国代表ATIC找上门……

GCA浴火重生。

1988年,硅谷集团(Silicon Valley Group,简称SVG)在新任命的首席执行官 Papken Der Torossian的领导下,将公司业务扩展到光刻领域,SVG曾试图从General Signal的手里收购GCA,但SVG因为拿不出6800万美元现金,愿意以股票代替,交易失败,然而,SVG却成功地获得了P&E与IBM联合开发的下一代步进扫描系统 Micrascan,1989年4月,P&E宣布退出半导体设备业务;SVG于1990年还以2000万美元收购了P&E的光刻业务。

1998年,Ultratech最终被管理层杠杠收购,退出了光刻机制造市场,成为一家专注于先进微电子工艺开发和制造解决方案提供商,其产品包括激光均匀化系统、氧化物化学气相沉积系统等先进工艺设备,广泛应用于集成电路、存储器件制造等领域。

全球光刻机市场,一年只有500台左右,市场竞争激烈,优胜劣汰,如今全球只剩下5家,美国有GCA和SVG,日本有Nikon和Canon,荷兰有ASML,中国有BSEC。