asml加入euv llc后,享受到的研究成果大大加快了其euv的研发进度,2005年摩尔定律陷入停滞,极紫外光刻技术被认为是制程突破10nm制程工艺的关键,但由于euv光刻机几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限,光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高,别说是对日本与荷兰,就算是科技全球第一的美国,举国之力独自突破这项世界最尖端的技术,也是痴人说梦。
由于技术难度极高,需要巨额的研发资金,尼康和佳能只得选择放弃,彻底沦为中低端光刻机厂商。
asml成为唯一的候选人!
asml以23%的股权得到英特尔、三星和台积电的53亿欧元的研发euv光刻机的资金,而这三家客户也因此获得优先供货权。
asml也成为美国大财团控股的荷兰高科技公司!
从1997年,英特尔和美国能源部牵头成立euv llc开始,到孙健重生前的2017年,asml才成功量产第一台euv光刻机,集中全球物理学、材料学和精密制造极限的技术成果,还用了整整20年的时间!
euv光刻机研制成功之难难于上青山不是一句调侃!
孙健预测再投入1亿美元,汤普森团队就是能研究成功euv,在euv光刻机这种人类技术最复杂的宏伟工程面前,gca即使耗费几十亿美元的研发经费,也不可能独自生产成功,要集中全球最顶尖的物理学、材料学和精密制造等科技成果,也只有美国才有这样的组织能力。
gca生产高端光刻机,bsec生产中低端光刻机,这是收购gca时,孙健给两家公司的定位,不以他的意志为转移。
gca重获新生,asml将失去进入euv llc的机会,asml独自研制成功euv光刻机如同痴人说梦话,bsec也不能!
苏联解体后,以俄罗斯为首的东欧国家已经倒向西方阵营,同我们友好的国家,其经济和科技实力都不强,在如今的科技和经济条件下,举国之力,bsec研制euv光刻机,没有20年,也看不到成果。
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