asml踢掉法国cerco之后，开始与蔡司合作开发光刻机镜头组，于是蔡司就成了asml核心部件镜头组的独家供应商，pas 2500和pas 5500所需要的镜头组有了保证。

磁悬浮式双工作台系统技术在18个月的漫长等待后，于1995年2月获得欧美、日本和韩国等国专利局授予的公司发明专利，asml同nikon、等光刻机公司几乎同时购买了bsec的公司发明专利，每台支付4000到美元不等的专利使用费，相当于每台光刻机售价的1%。

93年8月，gca同bsec签订了磁悬浮式双工作台系统专利和arf准分子激光器专利互换协定，gca不需要支付磁悬浮式双工作台系统的专利使用费。

一台gca2500b光刻机的市场售价高达600万美元，高端光刻机生产大户gca占了大便宜。

1995年，bsec收取了磁悬浮式双工作台系统的专利使用费920万美元，相当于7500万元人民币，占了1995年净利润的6成。

1996年，bsec预计将收取1300万美元的专利使用费。

前世，asml就是依靠双工作台系统和浸没式系统打败了nikon。

如今，购买了bsec的磁悬浮式双工作台系统专利技术，加上bsec的控股股东孙健也是asml的第二大股东，asml就没有动力继续研发双工作台系统了，集中人力和财力研发更先进的光刻机。

1995年2月，asml生产的第一台pas 5500到达三星的工厂里，三星用它开发了一项0.25微米工艺用于生产16mb内存颗粒，不久之后韩国另外一家内存厂商海力士也开始使用pas 5500。

95年3月24日，asml公开发行1000万股新股在阿姆斯特丹证交所上市，每股5欧元，孙健因为抽不出时间，余建国代表tic出席了上市敲钟仪式。

有了近5000万欧元的融资，asml如虎添翼，董事会决定，在研发和增长潜力方面继续投入资金，准备在800名员工的基础上再招聘200人，董事会听取孙健的建议，asml承诺实施股票期权计划，让所有员工分享公司成长红利。

1996年初，asml研发成功250nm制程工艺的光刻机，仅落后于g制程工艺，超过，处于行业第三位。

asml如今总股本8000万股，每股净资产4.55美元，asm持有1750万股，占股21.88%，为第一大股东；tic持有1500万股，占股18.75%，为第二大股东；飞利浦持有1250万股，占股15.63%，为第三大股东；蔡司集团持有500万股，占股6.25%，为第四大股东……